潔凈環(huán)境使用的離子棒
產(chǎn)品型號：5635 (M)
產(chǎn)品廠商：
簡介：Simco-Ion Aerobar 5635 MP 離子棒能提供快速靜電消散，低殘余電壓擺幅，和精準(zhǔn)的離子平衡，是設(shè)計(jì)用于有嚴(yán)格要求的超高潔凈半導(dǎo)體或有同類的制程環(huán)境。它采用 MP 技術(shù) - 把高頻正旋周波和調(diào)制脈沖結(jié)合 - 產(chǎn)生高輸出量的離子和把它們推送至目標(biāo)表面，這突破的技術(shù)使 5635MP 離子棒能安裝在晶圓的 15 cm 距離內(nèi)。同時(shí)配合超高潔凈的靜電針和**的參數(shù)調(diào)整，使它達(dá)到超越 ISO Class 1 潔凈水平的
“Extended ISO Class 1”潔凈度，適合更微小的先進(jìn)技術(shù)制程。選配的吹氣輔助功能，在潔凈要求不高的環(huán)境，能加快離子的推送，得到更快的消散時(shí)間和有更遠(yuǎn)的工作距離。
Aerobar 5635 MP 離子棒的 MP 技術(shù)能容易設(shè)置和微調(diào)參數(shù) - 輸出電壓，脈沖頻率，正負(fù)平衡，以符合不同環(huán)境和產(chǎn)品對靜電的敏感要求。在棒長短于 60 cm 時(shí)，靜電針的間距